蝕刻液蝕刻工序的主要參數(shù)簡介！

蝕刻液的種類多種多樣，用途也是非常廣泛，而對于不同用途、不同類型的蝕刻液，其工藝參數(shù)表也有差別，今天小琪就和大家介紹一下酸性、堿性蝕刻液以及三種硫酸微蝕蝕刻液體系的主要參數(shù)！

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堿性：

酸性：

雙氧水/硫酸體系：

主要工藝參數(shù)	控制范圍	作用
Cu2+	≤30g/L	除去銅表面上氧化層和形成的微觀粗化，增強(qiáng)后續(xù)工序結(jié)合力
H2SO4	3%~5%
H2O2	30~60g/L

過硫酸鈉/硫酸體系：

主要工藝參數(shù)	控制范圍	作用
Cu2+	≤20g/L	除去銅表面上氧化層和形成的微觀粗化，增強(qiáng)后續(xù)工序結(jié)合力
H2SO4	3%~5%
SPS	50~70g/L

過硫酸銨/硫酸體系：

主要工藝參數(shù)	控制范圍	作用
Cu2+	≤20g/L	除去銅表面上氧化層和形成的微觀粗化，增強(qiáng)后續(xù)工序結(jié)合力
H2SO4	3%~5%
APS	50~70g/L

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